對液態(tài)成品的精制過程，最后一步工藝往往是精餾。其目的主要為：保持產(chǎn)品的物理化學(xué)性質(zhì);產(chǎn)品的精制收率盡可能高;以產(chǎn)品為正餾份，除去作為溶劑的低沸部分和下腳料的高沸部分，從而達(dá)到產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)。液態(tài)產(chǎn)品通常具有受熱變質(zhì)的熱敏性，因此在較低溫度下實現(xiàn)精制顯得尤為重要。
同樣地，從經(jīng)濟(jì)以及環(huán)境保護(hù)方面的考慮，對脫除的溶劑必須回收使用。液態(tài)產(chǎn)品的精制要求盡可能在高的真空度下進(jìn)行，通常操作壓力在10Pa以下(1個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓為101325Pa)。滿足此條件的配置有:滑閥真空泵、爪式泵兩種單泵、羅茨真空機(jī)組。
(1)羅茨真空機(jī)組。
其運(yùn)行功率相當(dāng)高。對于前級泵達(dá)到相當(dāng)于LH-70PH型爪式泵同樣抽氣量的機(jī)組，其機(jī)組配用功率為20Kw，對于日夜連續(xù)運(yùn)行的真空產(chǎn)生裝置來說，12.5Kw的差別，一年下來，意味著9萬元的電費(fèi)差距(以每年工作300個晝夜計。電費(fèi)以1元/度計)。
(2)滑閥泵。
其必須有真空泵方能有效工作。當(dāng)氣體流經(jīng)真空泵時，難免將真空泵油夾帶出去。這就意味著不能直接套用所回收的溶劑，或者浪費(fèi)掉并污染環(huán)境。此外，滑閥泵對操作維護(hù)要求較高，在寒冷季節(jié)，開關(guān)機(jī)稍有不慎，就非常容易損壞。
(3)爪式泵。
采用爪式泵，泵后的常壓回收溶劑沒有問題。另外，由于其本身結(jié)構(gòu)較好、加工精良、附屬裝置齊全，一旦投入使用，其使用要求低、使用范圍廣、使用壽命長、清洗維護(hù)保養(yǎng)方便。當(dāng)需要更高的真空時，其能作為前級泵方便地組成真空機(jī)組。
由此可見，在液態(tài)成品高真空精制的場合，爪式泵是一種相當(dāng)合理的選配方案。
