半導(dǎo)體設(shè)備真空系統(tǒng)出現(xiàn)故障一般分為兩類(lèi)：一是真空泵機(jī)組及測(cè)量系統(tǒng)的故障，另一個(gè)是真空系統(tǒng)的泄漏。對(duì)于第一類(lèi)故障，檢測(cè)真空泵的極限真空度或更換好的真空計(jì)就可以確認(rèn)。對(duì)于第二類(lèi)故障則需要檢漏。
在對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備檢漏時(shí)常使用兩種方法：靜壓檢漏法和He質(zhì)譜檢漏法。靜壓檢漏法就是用閥門(mén)將真空室與真空泵組隔開(kāi)，測(cè)量其內(nèi)部壓強(qiáng)的變化。質(zhì)譜檢漏法要復(fù)雜一些。
He質(zhì)譜檢漏儀一般需要拿到現(xiàn)場(chǎng)去，檢漏儀內(nèi)有分子泵，因此搬運(yùn)時(shí)要輕拿輕放。常常選擇檢漏儀高靈敏度方式來(lái)檢漏，這有利于保護(hù)分子泵。檢漏儀的抽氣能力有限，因此常常需要設(shè)備自己抽好真空。真空抽到0.5~10Pa就行。等到漏率顯示穩(wěn)定或由穩(wěn)定轉(zhuǎn)成減少后再開(kāi)始檢漏。在檢漏過(guò)程中如果需要對(duì)門(mén)閥、粗抽閥、放氣閥等進(jìn)行操作，則必需先讓檢漏儀停止檢漏并選擇檢漏口不放氣，避免真空室突然進(jìn)入大量氣體而損壞檢漏儀。
真空抽到后應(yīng)該關(guān)上門(mén)閥和粗抽閥，以免分流導(dǎo)致真空漏率測(cè)量值小于實(shí)際值。最好停掉設(shè)備上的分子泵和機(jī)械泵，從而避免它們的干擾;有冷泵的設(shè)備要想檢漏徹底應(yīng)該停掉冷泵。用真空法檢測(cè)雙密封結(jié)構(gòu)產(chǎn)品漏率時(shí)，常有漏率“緩慢升高”的現(xiàn)象發(fā)生，因此在檢漏過(guò)程中要注意這一點(diǎn)，另外，要求He袋不漏氣，一般要求噴出的He流量少，這樣有利于確認(rèn)漏點(diǎn)位置，但是也有特殊情況，需要在某些He不易到達(dá)的地方噴出較多He，以避免漏檢。檢漏時(shí)加裝的波紋管不能檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要進(jìn)行第二次確認(rèn)，漏點(diǎn)維修后要再進(jìn)行檢漏確認(rèn)。
半導(dǎo)體設(shè)備真空部分有許多部件，如果一個(gè)部件漏率較大，很容易導(dǎo)致高真空抽不上去。半導(dǎo)體設(shè)備的真空疑難故障大多是微漏導(dǎo)致高真空抽不上。真空檢漏的難點(diǎn)是要重視操作的細(xì)節(jié)部分，要有耐心。此外，選擇國(guó)產(chǎn)高真空計(jì)時(shí)要留有余地，否則將無(wú)法顯示期望的高真空度。
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